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风机过滤单元(
FFU)
将风机和过滤器(高效过滤器HEPA)或超高效过滤器(ULPA)组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备,在无尘室、无尘生产线、洁净电子晶圆生产车间中广泛使用。