安佐电机

风机过滤单元(FFU)

将风机和过滤器(高效过滤器HEPA)或超高效过滤器(ULPA)组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备,在无尘室、无尘生产线、洁净电子晶圆生产车间中广泛使用。